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大面积高光学质量金刚石膜制备、加工及应用关键技术研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
该项目取得如下主要成果：在气体循环条件下制备大面积高质量金刚石自支撑膜：该成果涉及一种利用高功率DC Arc Plasma Jet CVD工艺在气体循环条件下制备大面积高光学质量(光学级)金刚石自支撑膜的技术。采用该成果可以制备工具级、热沉级和光学级金刚石自支撑膜，技术的应用将对金刚石自支撑膜市场影响产生较大影响。CVD金刚石膜涂层硬质合金工具制备技术：该成果涉及一种利用高功率DC Arc Pla...
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